முக்கிய செயல்திறன் மற்றும் கட்டமைப்பு அம்சங்கள்:
1.பகுதி அடர்த்தி மீட்டர் மற்றும் இறக்கம் ஆகியவை மூடிய-லூப் கட்டுப்பாட்டை உருவாக்கலாம்.
பரிமாணத்தைக் கண்டறிவதற்கான மூடிய-லூப் கட்டுப்பாட்டுடன் கூடிய 2.CCD அமைப்பு.
3. டெய்லிங்ஸ் மீது டெர்மினேஷன் டேப்பை ஒட்டவும்.
4.டபுள் லேயர் ஸ்லரியை அடி மூலக்கூறின் அதே பக்கத்தில் பூசலாம்.
5. MES அமைப்புடன் இணைந்து பணியாற்றுங்கள் மற்றும் உபகரணங்களுக்கான மோட் கிளவுட் கட்டுப்பாட்டை நிர்வகிக்கவும்.

தர கண்காணிப்பு மற்றும் கருத்து:
1.ஆன்-லைன் கண்டறிதலுக்கான X/B ரேயில் பகுதி அடர்த்தி மீட்டர்.
2.சிசிடி சிஸ்டம் பரிமாணம் மற்றும் குறை கண்டறிதல்.
3.NG குறி இன்க்ஜெட் அச்சு.
4. அடுப்பில் உள்ள மின்முனையின் மேற்பரப்பில் ஐஆர் வழியாக வெப்பநிலை அளவீடு.
5.தி மாஸ் ஃப்ளோமீட்டர் ஓட்டம், பாகுத்தன்மை மற்றும் வெப்பநிலை ஆகியவற்றை ஆன்லைனில் கண்காணிக்கிறது.
6.கேத்தோடு அடுப்புக்கான என்எம்பி செறிவு கண்காணிப்பு மற்றும் அனோட் அடுப்புக்கான ஈரப்பதம் கண்டறிதல்.